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Nanospec 9300
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規格
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數量
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圖片
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Nanometrics
Nanospec 9300
200 or 300mm wafer
Open cassette or 300mm FOUP
DUV-Visible Spectroscopic Reflectometry(SR) from 190 to 780 nm
Spectroscopic Ellipsometry (SE) from 245 to 1000 nm
T, n and k measurement on single and multi-layer film stacks
Windows NT OS for real-time, multi-tasking operations
N2000 user interface compliant to SEMI standard
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地址:新竹縣竹北市華興五街80號1樓
電話:03 5552217
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